지난 2개의 포스팅에 이어 이번 산화공정의 마지막 시간에는 산화공정 장비에 의한 불량에 대해 알아보겠습니다. 반도체 제조공정 장비운영 산화 공정불량 이번 시간에는 확산 공정장비에서 발생할 수 있는 불량은 무엇이며, 어떻게 예방할 수 있는지 알아보겠습니다. 1. 확산 공정장비에서 발생할 수 있는 이상 징후 1. Center Thermocouple 이상에 의한 Temp Reading 불량 2. Fitting 고정상태 불량으로 인한 Thickness High 3. Valve Fail로 Tube 압력이 틀어져 Particle 발생 4. 옆 장비 PM으로 외부 Particle 유입 5. Dummy Wafer로부터 오염 발생 2. 확산 공정장비 불량 예방책 1. 부품·모듈교환, 주기 등 준수 2. 정품, 정위치 등..
