이번 시간에는 포토공정에 대해 알아보겠습니다. 미세화 및 집적화되는 반도체 산업에서 포토 공정의 정밀도 요구는 높아지고 있습니다. 반도체 제조공정 장비운영 Photo 공정 & Track설비 Photo 공정 : 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 기판에 그려서 집적회로를 만드는 기술 = Photolithography " 적층식으로 필요한 회로를 웨이퍼 위에 전사 - Lay by Layer " 박막 증착 -> 감광제 도포 -> 노광 -> 현상 -> 식각 마스크 상의 패턴을 웨이퍼 상에서 원하는 모양, 크기, 정렬자리를 구현하며, 이후 식각으로 기하학적 구조를 얻음 표면 화학처리 -> 쿨링1 -> 감광액 도포 -> 소프트 베이크 -> 쿨링2 -> 노광 -> PEB -> 쿨링3 -> 현상 -> 하드 베이크 *노광..
