ENTJ 호랭이의 두리번

지난 시간인 산화공정 기본에 이어 오늘은 산화공정의 세부 모듈을 알아보겠습니다. 처음부터 차근히 공부하고 싶으신 분은 첫 포스팅부터 시작하시는 것을 추천합니다. 2023.08.07 - [분류 전체보기] - 반도체 직무 공부 #1 (반도체 제조공정 장비운영 : 산화공정_(1)) 반도체 제조공정 장비운영 산화공정(Oxidation) 세부 모듈 1. 산화 및 확산 공정의 주요 모듈 1. Boat : 실리콘 웨이퍼를 탑재하는 장치 2. Torch : H2와 O2를 반응시켜 수증기를 발생시키는 장치 3. MFC(Mass Flow Controller) : Gas의 유량을 조절하는 장치 2. LP-CVD공정의 주요 모듈 1. APC(Auto Pressure Controller) : Tube 내의 압력을 조절하는 장치..

직장생활은 가볍게 선택할 수 없다. 회사의 네임만, 산업만 생각하고 선택을 하면 분명 후회를 하게 된다. 하루 중 가장 많은 시간을 보내게 될 직장에서, 원하는 직무를 다루게 되는 것은 사전에 준비한 자만이 가질 수 있는 특권이다. 제대로 공부하고, 본인의 성향을 알자. 그 첫번째 시간. 반도체 제조공정 장비운영 산화공정(Oxidation) 1. 산화공정 : 반응로에서 고온(800~1200도)에서 산소나 수증기를 실리콘 웨이퍼 표면과 화학반응을 시켜 '얇고 균일한 실리콘 산화막(SiO2)을 형성'시키는 공정 1) 건식산화(Dry Oxi-) : 산소(O2)와 반응 Si + O2(gas) ---> SiO2(solid) 2) 습식산화(Wet Oxi-) : Pyro 수증기(H2O)와 반응 Si + 2H2O(va..