반도체 직무 공부 #2 (반도체 제조공정 장비운영 : 산화공정_(2))

지난 시간인 산화공정 기본에 이어

오늘은 산화공정의 세부 모듈을 알아보겠습니다.

처음부터 차근히 공부하고 싶으신 분은 첫 포스팅부터 시작하시는 것을 추천합니다.

2023.08.07 - [분류 전체보기] - 반도체 직무 공부 #1 (반도체 제조공정 장비운영 : 산화공정_(1))

 

 

반도체 제조공정 장비운영

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산화공정(Oxidation) 세부 모듈

 

1. 산화 및 확산 공정의 주요 모듈

1. Boat : 실리콘 웨이퍼를 탑재하는 장치

2. Torch : H2와 O2를 반응시켜 수증기를 발생시키는 장치

3. MFC(Mass Flow Controller) : Gas의 유량을 조절하는 장치

 

2. LP-CVD공정의 주요 모듈

1. APC(Auto Pressure Controller)

: Tube 내의 압력을 조절하는 장치, 공정에 따라 Butterfly 방식과 N2 Ballast 방식

2. Inner Tube : 반응 Gas의 흐름을 구분하기 위한 석영관으로 위가 Open되어 있음

3. Outer Tube : 반응로 내부의 진공을 유지하고 반응로 내부를 외부 환경과 격리시키기 위한 석영관

 

세부 칩셋

3. 산화로의 형태에 따른 Furnace의 종류

1. 수평형 전기로(Horizontal Furnace) : 수평으로 존재하는 전기로

2. 수직형 전기로(Vertical Furnace) : 수직으로 존재하는 전기로

 

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이번 포스팅은 산화공정의 세부모듈 및 세부 명칭에 대해 알아보았습니다.

다음시간에는 확산공정 장비에 의한 불량에 대해 알아보겠습니다.

 

감사합니다.