안녕하세요. cleaning 공정의 마지막 시간입니다. 오늘은 세정공정의 장비 유지·보수에 대해 알아보겠습니다. 반도체 제조공정 장비운영 Cleaning 장비 유지·보수 먼저 항상 강조하듯 장비의 역할입니다. 장비 : 가동률을 최대화하여 생산성 증진에 기여해야 함 장비가동률 = 가동시간 / 전체시간(:24h) 동작효율 = 생산시간 / 전체시간(:24h) 으로 장비가 생산에 직접 관여하는 효율 이러한 장비 가동률과 동작효율을 높이기 위해서는 장비의 급작스러운 고장사고가 없어야 하며, 장비의 유지·보수 방법을 알고 정확히 실행해야 사고를 방지할 수 있습니다. 장비의 유지·보수는 타 장비와 동일하게 펌프나 센서 등을 교체하는 일 등으로 이루어져 있고, Cleaning 장비의 경우 유지·보수 주기는 다음과 같습..