반도체 직무 공부 #4 (반도체 제조공정 장비운영 : PM이란?)

설비기술, 공정기술 직무를 희망하는 분들이라면 잘 알아야 하는 PM에 대해 알아보겠습니다.

 

반도체 제조공정 장비운영

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 PM과 BM

• 예방정비 (Preventive Maintenance PM)
• 사후정비 (Breakdown Maintenance BM)
• 예지정비 (Predictive Maintenance PdM)

앞선 포스팅에서 언급했듯이 반도체 공장은 순차적인 시퀀스에 의해 수많은 장비를 통해 양품이 완성됩니다.

따라서 장비와 설비에 대한 유지보수는 무엇보다 중요합니다.

유지보수 용어는 위 3가지로 크게 구분지을 수 있습니다.

오늘은 그 중 예방정비인 PM에 대해 알아보겠습니다.

 

실제로 유지보수 집단인 설비기술 직무에서 많이 다루는 공구

1. 예방정비(PM)

: '장비의 성능을 유지시키고, 고장의 발생을 사전에 방지하는 활동'으로

장비의 수명을 연장하고 생산성을 향상시킴

 

<PM 활동내용> 

1) 주기적인 예방점검 항목을 인지하고, 일정과 절차에 따라 실시

2) 기준에 맞지 않는 사항이 있으면 고장 또는 이상 발생에 대한 조치 실시

3) PM일지 작성

4) 고장 또는 이상 발생에 대한 원인 분석 및 영향 평가

5) 조치사항 및 결과와 대책을 정리하여 보고서 작성

 

Example. 확산 장비 유지·보수 주기

- 일일 유지·보수 (Daily)

- 월간 유지·보수 (Monthly)

- 3개월 유지·보수 (분기별)

- 6개월간 유지·보수 (Half Year)

- 연간 유지·보수 (Annually)

 

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다음 시간에는 다양한 설비 중에서도 기반적인 시스템이 되는 Track 에 대해 알아보겠습니다.

감사합니다.