반도체 직무 공부 #12 (반도체 제조공정 장비운영 : Clean_(4)장비관리)

안녕하세요.

cleaning 공정의 마지막 시간입니다.

오늘은 세정공정의 장비 유지·보수에 대해 알아보겠습니다.

 

반도체 제조공정 장비운영

---

 Cleaning 장비 유지·보수

 

먼저 항상 강조하듯 장비의 역할입니다.

• 장비 : 가동률을 최대화하여 생산성 증진에 기여해야 함
• 장비가동률 = 가동시간 / 전체시간(:24h)
• 동작효율 = 생산시간 / 전체시간(:24h) 으로 장비가 생산에 직접 관여하는 효율

이러한 장비 가동률과 동작효율을 높이기 위해서는 장비의 급작스러운 고장사고가 없어야 하며,

장비의 유지·보수 방법을 알고 정확히 실행해야 사고를 방지할 수 있습니다.

 

clean공정

 

장비의 유지·보수는 타 장비와 동일하게 펌프나 센서 등을 교체하는 일 등으로 이루어져 있고,

Cleaning 장비의 경우 유지·보수 주기는 다음과 같습니다.

- 일일

- 월간

- 3개월(분기)

- 6개월(반기)

- 연간

 

---

이렇게 Cleaning 공정을 마치고

다음시간에는 CMP공정에 대해 알아보겠습니다.