반도체 직무 공부 #8 (반도체 제조공정 장비운영 : 포토공정_(4)Track)

이번 포스팅은 포토공정 설비의 마무리입니다.

사실 포토공정의 하이라이트인 '노광기'입니다.

노광기에 대한 설명은 현재 제작 중인 문서가 정리가 되면 업로드 예정입니다.

 

반도체 제조공정 장비운영

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Track 장비 유지·보수 방법

 

장비의 역할은 가동률을 최대화하여 생산성 증진에 기여하는 것입니다.

가동률을 최대화하기 위해서는 장비의 갑작스러운 고장사고가 없어야 합니다.

이것이 PM이 중요한 이유기도 합니다.

 

2023.08.08 - [분류 전체보기] - 반도체 직무 공부 #4 (반도체 제조공정 장비운영 : PM이란?)

반도체 직무 공부 #4 (반도체 제조공정 장비운영 : PM이란?)

 

이번 포스팅에서는 고장사고를 방지하기 위해 장비를 어떻게 유지·보수해야 하는지 그 방법과 실행에 대해 알아보겠습니다.

 

PM을 통해 장비가 원하는 성능으로 가동될 수 있도록 해야 합니다,

이때 유의할 점은

• 항목, 실시 방법, 주기 등이 부적절하거나 비경제적일 경우 - 기술적으로 보다 나은 방법의 적용이 가능
• 기준의 변경 등으로 현행의 PM 방법을 수정할 필요성이 발생했을 경우 - ISO 규정에 따라 표준 변경 절차를 밟아 변경

설비 유지보수_펌프 교체, 기관_반도체 공정설비

"PM의 주기는 필요에 따라 변경할 수 있으며, 문제 발생 시 언제든지 관련 항목에 대해 점검해야 함"

 

이때, 통계적 분석 기법을 활용할 수 있습니다.

 

통계적 분석의 활용

: PM 활동의 데이터를 축적하고 통계적으로 해석함

: 이상 값과 추세 등을 진단하고 예측하며, 보고를 통해 정보를 공유함

: 과학적이고 체계적인 장비 유지/개선 사례 및 노하우를 축적함

 

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<Track 장비 유지·보수 항목>

1. 감광막 도포부의 유지·보수

- 도포기는 PR, BARC, TARC 등의 물질을 웨이퍼에 고속 회전으로 코팅하는 기능을 담당

- 온도, 습도, 회전수에 따라 코팅 특성이 달라짐

- 구성 : 코팅 불량 방지를 위한 표면처리 부분 / 열판을 이용한 건조 부분 / 고속 회전 부분

- 점검항목

  1) TPR(Thickness of PR) : 매일 또는 이상 발생 시 더미 웨이퍼에 PR을 코팅하고 두께 측정 장치를 이용하여 확인

TPR 측정_반도체 공정 설비, 반도체 측정 장비

  2) TPR 균일도 : 더미 웨이퍼에 PR 코팅해 값 확인하고, 이상 시 RPM 또는 스핀 프로그램 점검

  3) PR 입자 : 매일 / 더미 웨이퍼에 PR 도포하여 값 확인

  4) 필터 : 월 1회 / 신규 PR 교체시 함께 교체

  5) 노즐 : 매일

  6) 보웰(Bowel)세정 : 매일 / 오염 줄이기 위해

  7) 드레인 : 주 1회

  8) HDMS(화학제) : 월 1회

  9) 로봇 티칭(Teaching) : 월 1회

  10) ARM 가이드 : 월 1회

 

- 유의사항(공통)

  1) 사이드 린스 노즐 다룰 때 주의

  2) 모터 스캐닝 암 주의 (위치 이탈)

  3) 척에 직접적으로 손 대지 X

  4) 약액 관계의 보수시 보호구, 보호안경, 보호장갑 착용

  5) 감광액 필터, 가압 탱크 등 부품 교환 시 가압을 끄고, 압력을 빼야 함

 

2. 현상부의 유지·보수

- 현상기는 노광된 감광막의 패턴을 완성하기 위해 현상액과 같은 다량의 약액을 사용하는 부분임

- 점검항목 

  1) 입자 : 노즐, 필터, 보웰 세정, 드레인, 로봇 티칭, ARM가이드

 

3. 열처리부의  유지·보수

- 열처리부는 도포(소프트 베이크), 노광(PEB), 현상(하드 베이크) 후 PR의 안정화를 위하여 각기 필요한 온도별로 구성된 모듈임

- 점검항목 

  1) 소프트 베이크 온도 : 월 1회 / 온도 균일도 값 확인

  2) 하드 베이크 온도 : 월 1회 / 온도 균일도 값 확인

  3) PEB 온도 : 월 1회 / 온도 균일도 값 확인

- 유의사항(공통)

  1) 열판은 고온이기에 직접 손 대면 X

  2) 부품 교환 전에 공기, 진공 설비를 반드시 꺼야 함

  3) 전원이 켜진 직후 레시피를 운송할 때는 열판 온도에 오류가 발생함으로 주의해야 함

 

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이번 포스팅에서는 포토공정의 Track 장비의 유지·보수 방법에 대해 알아보았습니다.

다음시간부터는 Clean 공정에 대해 알아보겠습니다.

 

감사합니다.